MarSurf UD 130 通过两个驱动单元填补了高端解决方案 MarSurf LD 130 / LD 260 和新标准组合测量站 MarSurf VD 140 / 280 之间的空白。 MarSurf UD 130 的技术规格是以高质量的干涉测头系统为基础，测量和定位速度快，可以减少每个工件的测量时间。 | |
产品特点： • 一步完成粗糙度和轮廓测量 • 高测量和定位速度可大幅减少测量时间 |
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| • 创新的测头系统解决方案 • 快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆 |
| MarSurf UD 130 | 产品编号 6720823 | |
| 分辨率 | 2 nm |
| 扫描长度开始（X 方向） | 0.1 mm |
| 扫描长度末尾（X 方向） | 130 mm |
| 扫描长度 (Lt) | 0.1 - 130 mm |
| 导块偏差 | 0.12 µm / 60 mm 0.40 µm / 130 mm |
| 测量力 (N) | 1 mN 至 30 mN，可软件调整 |
| 测量速度 | 0.1 mm/s 到 5 mm/s |
| Positioning speed X-axis min. | 0.1 mm/s |
| positioning speed X-axis max. | 30 mm/s |
| 定位速度 (mm/s)，X 轴 | 0.1 - 30 mm/s |
| 测头 | 集成粗糙度和轮廓测头系统 |
| 测杆长度 | 100 mm、150 mm、200 mm |
| 重量（毛重） | 23 KG |
| 测量范围 mm | 10 mm（100 mm 测杆） 20 mm（200 mm 测杆） |
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